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            蝕刻加工過程中的精度和側蝕問題介紹

            發布日期:2022-02-16 點擊次數:6
            蝕刻加工過程中的精度和側蝕問題介紹
             在蝕刻加工的工藝中,除不經任何防蝕處理的整體蝕刻方法外,都必須要注意防蝕層下蝕刻的“蔓延”問題,也就是我們常說的側腐蝕。側腐蝕的大小直接關系到圖文的精度和蝕刻線條的極限尺寸。通常把防蝕層下的水平方向的蝕刻寬度A稱為側蝕量,側蝕量A與蝕刻深度H的比值就是側蝕率F:
             
            蝕刻的精度和側蝕問題介紹
             
            F=A/H式中:A為側蝕刻量(mm),H為蝕刻深度(mm);F為側蝕刻率或腐蝕因素,用以表示不同條件下側蝕刻量與蝕刻深度之間的關系。
             
            以上有關圓弧R的大小受蝕刻深度,被蝕刻窗口的最小寬度與蝕刻深度的比值、蝕刻液的組成、蝕刻方法及材料種類等的影響較大。側蝕刻的量決定了化學蝕刻的精度,側蝕量越小,加工的精度越高,適用的范圍就越寬,反之,加工的精度低,適用范圍小。
            側蝕量的大小主要受金屬材料的影響,在常用的幾種金屬材料中,以銅的側蝕量最小,鋁的側蝕量最大。選擇更為優越的蝕刻劑,雖然蝕刻的速度提高并不明顯,但的確可改善金屬蝕刻加工的側蝕量。
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